多晶硅材料的制备

当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核，如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒，则形成单晶硅。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则形成多晶硅。

1）碳还原法

在电弧中，利用纯度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右进行还原反应，可生成多晶硅。

2）三氯氢硅氢还原法

3）硅烷热分解法

4）四氯化硅氢还原法