1）等离子化学气相沉积法
该法主要是采用H2稀释的硅烷气体的热分解，硅烷分解生成硅原子，
沉积在衬底材料上形成非晶硅薄膜。
太阳能电池的制备
硅片切割--去除损伤层--制绒－扩散－刻蚀
－pECVD沉积减反射层－丝网印刷上下电极
－烧结形成金属接触－分类检测－包装
非晶硅的制备
2019-08-19
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