非晶硅的制备

1）等离子化学气相沉积法

该法主要是采用H2稀释的硅烷气体的热分解，硅烷分解生成硅原子，

沉积在衬底材料上形成非晶硅薄膜。

太阳能电池的制备

硅片切割--去除损伤层--制绒－扩散－刻蚀

－pECVD沉积减反射层－丝网印刷上下电极

－烧结形成金属接触－分类检测－包装