太阳能电池扩散设备，包括扩散炉和机台排风端。太阳能电池扩散设备的运转流程是，扩散炉内产生的废气通过管道从机台排风端排出，机台排风端安装排风压力控制阀和相应的排风压力控制器。抽气排风压力稳定后，磷在硅片中的注入浓度稳定后，方块电阻也随之稳定，可以提升最终太阳能电池的效率５％。 扩散炉是太阳能电池片形成P-N结的核心组件，扩散炉的质量直接影响到电池片的性能。现在太阳能厂家流行的扩散方式有开管扩散、闭管扩散、软着陆扩散，开管扩散的产量比较低，偏磷酸的用量比较大；闭管扩散工艺过程完全不受外界环境干扰；软着陆扩散是根据现有6-8英寸集成电路扩散设备，而提出的新概念；软着陆扩散工艺质量完全受控；工艺有毒害尾气定向收集、集中处理排放；更加安环保。
